薄膜測厚儀_SGC-10

簡要描述：SGC-10薄膜測厚儀，適用于介質(zhì)，半導(dǎo)體，薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。該薄膜測厚儀，是我公司與美國new-span公司合作研制的，采用new-span公司*的薄膜測厚技術(shù)，基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（折射率n，消光系數(shù)k）。它通過分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干形成的反射譜，用相應(yīng)的軟件來擬合運算，得到單層或多層膜系各層的厚度d，折射率n，消光系數(shù)

產(chǎn)品型號：SGC-10
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2024-10-08
訪問量：1399

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詳情介紹

產(chǎn)品簡介

SGC-10薄膜測厚儀，適用于介質(zhì)，半導(dǎo)體，薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。該薄膜測厚儀，是我公司與美國new-span公司合作研制的，采用new-span公司*的薄膜測厚技術(shù)，基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（折射率n，消光系數(shù)k）。它通過分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干形成的反射譜，用相應(yīng)的軟件來擬合運算，得到單層或多層膜系各層的厚度d，折射率n，消光系數(shù)k。該設(shè)備關(guān)鍵部件均為國外進口，也可根據(jù)客戶需要*。

參數(shù)和性能指標

厚度范圍： 20nm-50um（只測膜厚），100nm-10um（同時測量膜厚和光學(xué)常數(shù)n，k）根據(jù)薄膜材料的種類，其范圍有所不同。

準確度： <1nm或<0.5%

重復(fù)性： 0.1nm

波長范圍： 380nm-1000nm

可測層數(shù)： 1-4層

樣品尺寸：樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm

測量速度： 5s-60s

光斑直徑： 1.2mm-10mm可調(diào)

樣品臺：290mm*160mm

光源：長壽命溴鎢燈（2000h）

光纖：純石英寬譜光纖

探測器：進口光纖光譜儀

電源：AC100V-240V，50HZ-60HZ

重量：18kg

尺寸：300mm*300mm*350mm

產(chǎn)品功能適用性

該儀器適用于多種介質(zhì)，半導(dǎo)體，薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。

強大的軟件功能

界面友好，操作簡便，用戶點擊幾次鼠標就可以完成測量

可方便的保存、讀取測量得到的反射譜數(shù)據(jù)

數(shù)據(jù)處理功能強大?？赏瑫r測量多達四層的薄膜的反射率數(shù)據(jù)。一次測量即可得到四層薄膜分別的厚度和光學(xué)常數(shù)等數(shù)據(jù)。

材料庫中包含了大量常見的材料的光學(xué)常數(shù)的數(shù)據(jù)。用戶可以很方便地自己擴充材料的數(shù)據(jù)庫。

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